מד עובי הפרעות אופטיות
כאשר משתמשים בו בתהליך ההדבקה, ניתן למקם ציוד זה מאחורי מיכל ההדבקה ומלפני התנור, למדידה מקוונת של עובי ההדבקה, ומדידה מקוונת של עובי ציפוי סרט השחרור, בדיוק גבוה במיוחד ויישומים רחבים, מתאים במיוחד למדידת עובי של אובייקט רב-שכבתי שקוף עם עובי נדרש עד לרמת ננומטרי.
ביצועי/פרמטרים של המוצר
טווח מדידה: 0.1 מיקרומטר ~ 100 מיקרומטר
דיוק מדידה: 0.4%
חזרתיות מדידה: ±0.4 ננומטר (3σ)
טווח אורך גל: 380 ננומטר ~ 1100 ננומטר
זמן תגובה: 5~500 מילישניות
נקודת מדידה: 1 מ"מ ~ 30 מ"מ
חזרתיות של מדידת סריקה דינמית: 10 ננומטר
כתבו את הודעתכם כאן ושלחו אותה אלינו
